参数分析仪是一种多功能的测试仪器，能够执行电流-电压（IV）、电容测量（CV）等多种测量和分析功能。以下是其主要技术指标：
- 测量功能：在0.1 fA - 1 A / 0.5 μV - 200 V范围内执行精确的电流-电压（IV）测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量。在1 kHz - 5 MHz频率范围内执行交流电容测量，支持准静态电容-电压（QS-CV）测量的脉冲 IV 测量和超快 IV 测量，低采样间隔为5 ns（200 MSa/s）。
- 测量精度：电容测试精度（1 pF，1 MHz）±1.2%。
- 分辨率：SMU模块最小测量分辨率为：电流50 fA，电压0.5 μV。
- 其他特性：高达40 V的高压脉势，适用于非易失存储器测试。
这些技术指标共同决定了参数分析仪的性能和适用范围，对于用户选择合适的参数分析仪至关重要。
