IV曲线测试:通过施加不同的电压并测量对应的电流,可以绘制出器件的电流-电压(IV)特性曲线。这有助于识别器件是否存在击穿、泄漏或导通问题。
CV曲线测试:电容-电压(CV)特性曲线测试可以评估器件的电容特性,这对于分析半导体材料的介电性质和结构缺陷非常重要。
温度效应测试:在不同温度下进行电参数测试,可以观察器件性能随温度的变化,从而评估器件的热稳定性。
脉冲测试:对器件施加短暂的电流或电压脉冲,并测量其响应,这有助于评估器件的动态特性和响应时间。
四线探头法:使用四线探头可以减少接触电阻和线阻的影响,从而获得更准确的电阻率测量结果。
动态电阻测试:通过测量器件在不同电流或电压下的电阻变化,可以评估器件的稳定性和可靠性。
高频参数测试:对于高频应用的半导体器件,参数分析仪可以测量其在高频条件下的性能,如最大振荡频率等。
栅极电荷测量:对于MOSFET等器件,测量栅极电荷有助于评估其开关速度和效率。
数据记录和分析:参数分析仪通常配备有软件,可以自动记录测试数据,并提供分析工具,帮助工程师快速识别和定位故障。