低电平灵敏专用仪器是用于测量极低电平信号的精密设备，其主要技术参数包括电流分辨率、电压分辨率、输入阻抗、噪声水平、测量速率、量程范围等。这些参数共同决定了仪器的灵敏度和适用性，使其能够准确捕捉和分析微弱的电流、电压和电阻信号。
电流分辨率：指仪器能够区分的最小电流变化量，如Keithley 6485型皮安表提供10fA的电流分辨率。
电压分辨率：指仪器能够区分的最小电压变化量，例如，2182A纳伏表拥有1nV的灵敏度。
输入阻抗：高输入阻抗是低电平测量的重要特性，它减少了测量时对被测电路的影响，如Keithley 6517B静电计/高阻表的输入阻抗大于200TΩ。
噪声水平：低噪声水平对于提高测量精度至关重要，例如，Keithley 6517B静电计的噪声仅为0.75fA p-p。
测量速率：指仪器完成一次测量所需的时间，高速测量速率有助于提高生产效率，如Keithley 6485型皮安表支持最高每秒1000个读数。
量程范围：指仪器能够测量的电流、电压或电阻的最大值和最小值，如Keithley 6485型皮安表可测量10fA至20mA的电流。
这些技术参数共同决定了低电平灵敏专用仪器的性能和应用范围，使其能够在纳米技术、半导体测试、航空航天等多个领域发挥关键作用。
