【故障现象】
在使用半导体参数分析仪时，常见现象是：测试频率过高使寄生电感占主导，呈感性。特别是在大功率设备场景中，该问题尤为突出。
【原因分析】
测试线缆的绝缘电阻与被测高阻相比不可忽略，引入并联泄漏。 此外，环境因素如温度漂移、老化效应、寄生参数变化也常加重此现象。
【诊断步骤】
首先进入Utility菜单检查参考源设置，改为内部并自校准。 随后可利用示波器、万用表或信号源辅助监测关键节点，以定位故障源。
【解决方案】
最终使用外部加法器或软件减去直流分量。 在实施过程中，建议逐步调整、多次测量取平均值，确保可靠修复。
【预防措施】
建议编制标准作业指导书，明确操作顺序。 同时，掌握差分探头技术可大幅降低此类问题复发概率。建议将此流程列入维护手册。
