【故障现象】
在使用半导体参数分析仪时，常见现象是：测试频率过高使寄生电感占主导，呈感性。特别是在射频系统场景中，该问题尤为突出。
【原因分析】
往往是被测对象内部存在潮湿或绝缘老化，导致泄漏电流急剧增大。 此外，环境因素如温度漂移、老化效应、寄生参数变化也常加重此现象。
【诊断步骤】
首先设衰减器为0dB并打开前置放大器，收窄RBW。 随后可利用示波器、万用表或信号源辅助监测关键节点，以定位故障源。
【解决方案】
最终采用带抗混叠滤波的专用电压表或示波器数学运算。 在实施过程中，建议逐步调整、多次测量取平均值，确保可靠修复。
【预防措施】
建议变频器与测量间加隔离变压器或EMI滤波器。 同时，掌握同步解调技术可大幅降低此类问题复发概率。建议将此流程列入维护手册。
